全部作者 | 李榮祥 |
---|---|
作者順序 | 第一作者 |
論文名稱 | A Cost-Effective Ni/Nb2O5/Al2O3/Ni2Si Metal-Insulator-Metal Capacitor Processed at 300 .C Using Laser Annealing and a Fully Silicided Amorphous Silicon Bottom Electrode |
刊物名稱 | IEEE TRANSACTIONS ON ELECTRON DEVICES |
出版日期 | 2011-11-01 |