全部作者	李正民
论文名称	表面电浆波真空纯度量测系统
研讨会名称	台湾光电科技研讨会暨国科会光电学门研究成果发表会
举行地点	台湾，中华民国新竹
会议开始时间	2006-12-15
会议结束时间	2006-12-16
作者顺序	第一作者